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精密液體氣相發生器是針對實驗室CVD實驗中導入液體的系統，其液體流量是通過數字液體泵來控制，Z大流量為80ml/min，精確度為0.005ml。液體被蠕動泵導入到混氣系統后，被系統里的加熱裝置加熱成蒸汽，然后隨導入的氣體被帶入到爐管中。本機能夠導出多種液體，如ETOH、SnCl4、 TiCl4R、SiHCl3和Zn（C2H5）2，以及多種有機物混合。對于研究用CVD方法生長納米線和薄膜是的研