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簡(jiǎn)要描述：VTC-100PAD 真空加熱旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體及光學(xué)元件等材料的表面涂覆與薄膜制備。設(shè)備兼容強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等腐蝕性溶液，滿足多樣化工藝需求。標(biāo)配3英寸加熱鋁制真空吸盤(pán)（支持定制），通過(guò)真空吸附固定樣品，確保運(yùn)行穩(wěn)定與定位精度。系統(tǒng)支持多段程序控制（最多6段），實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)速分段調(diào)節(jié)與平滑加速，提高薄膜均勻性并減少材料浪費(fèi)。結(jié)構(gòu)緊湊、操作簡(jiǎn)便，適用于科研及實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2026-04-13訪 問(wèn) 量：74產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|
·采用真空吸附方式固定樣件，操作簡(jiǎn)便，定位可靠，真空度可達(dá) -0.08 MPa。
·配有樣品定位工具，可快速實(shí)現(xiàn)樣件居中，減少偏心引起的震動(dòng)或飛片現(xiàn)象。
·可根據(jù)不同樣件尺寸配置不同規(guī)格真空吸盤(pán)，吸盤(pán)具有加熱功能，且更換方便。
·采用24V直流無(wú)刷電機(jī)，運(yùn)行平穩(wěn)、噪音低、振動(dòng)小，啟動(dòng)和加速穩(wěn)定，可有效保證涂層厚度的一致性和均勻性。
·配備無(wú)油雙缸真空泵，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、維護(hù)方便、無(wú)油污染。
·腔體采用聚四氟乙烯（PTFE）材質(zhì)，耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿腐蝕，抗應(yīng)力開(kāi)裂性能好，使用壽命長(zhǎng)；機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu)，堅(jiān)固耐用且重量輕。
·支持在惰性氣體氣氛（如 Ar、N?）環(huán)境下進(jìn)行涂層制備。
·采用 PLC 控制系統(tǒng)與觸摸屏操作界面，參數(shù)顯示直觀，操作方便可靠。
·設(shè)備具有開(kāi)蓋安全保護(hù)功能，運(yùn)行過(guò)程中打開(kāi)上蓋設(shè)備將自動(dòng)減速直至停止，提高設(shè)備安全性。
產(chǎn)品名稱 | VTC-100PAD真空加熱旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī) | |
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-100PAD | |
安裝條件 | 1、溫濕度：10-85%RH (at 25℃ 無(wú)凝露） 溫度： 0-45℃。 2、設(shè)備周圍無(wú)強(qiáng)烈震源和腐蝕氣體。 3、水：設(shè)備配有排污下水口 4、電：?jiǎn)蜗啵篈C220V 50Hz 國(guó)標(biāo)三極插座 10A 必須有良好接地 5、氣：真空負(fù)壓（真空泵） 抽氣流量不小于 70L/min（設(shè)備可通保護(hù)惰性氣體；如：Ar N2） 6、工作臺(tái)：建議 800X600X700mm 承重 50KG 以上(固體水泥臺(tái)最佳） 7、通風(fēng)裝置：無(wú)特殊要求 | |
主要參數(shù) | 1、供電接口：AC220 50Hz | |
2、涂膜腔體（材質(zhì)）：聚四氟 | ||
3、載樣盤(pán)（吸盤(pán)）：3英寸鋁制真空吸盤(pán)1個(gè)(其他尺寸真空吸盤(pán)可定制) | ||
4、運(yùn)行方式：包含1組程序，每組程序包含 6 個(gè)運(yùn)行階段 | ||
5、涂膜轉(zhuǎn)速：500rpm-10000rpm 有效(轉(zhuǎn)速遞增量為100rpm) | ||
6、涂膜時(shí)間：每段時(shí)間范圍：1-9999s | ||
7、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1% | ||
8、控制方式：PLC編程器+觸摸屏 | ||
9、加熱方式：電阻絲加熱、控制與主機(jī)控制關(guān)聯(lián) | ||
10、加熱溫度：RT-100℃，加熱時(shí)間最高可設(shè)置9999s。溫度控制可選擇與程序控制關(guān)聯(lián)，也可獨(dú)立控制(有溫度開(kāi)啟設(shè)置鍵) | ||
11、加熱功率：AC220V 150W 控溫精度：±5℃ | ||
12、產(chǎn)品規(guī)格： ·尺寸：450mm×280mm×340mm； ·重量：20kg |
| |
序號(hào) | 名稱 | 數(shù)量 | 圖片鏈接 |
1 | 3英寸制真空吸盤(pán) | 1個(gè) |
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2 | 中心定位器（含4個(gè)定位柱） | 1個(gè) |
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3 | 滴液器 | 1個(gè) |
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4 | 無(wú)油真空泵 | 1臺(tái) |  |
序號(hào) | 名稱 | 功能類別 | 圖片鏈接 |
1 | 進(jìn)口移液器 | （可選） |
|
2 | 國(guó)產(chǎn)移液槍 | （可選） |
|
3 | 其它尺寸的真空吸盤(pán) | （可選） |  |
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