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VTC-200P真空旋轉涂膜機/勻膠機

簡要描述:VTC-200P真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。VTC-200P真空旋轉涂膜機腔體不可抽真空,工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設備可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段。不同運行階段設備轉數不同,使設備緩慢提升速度*限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會過多浪費,節約材料。腔室的上蓋可以對樣品進

  • 產品型號:VTC-200P
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2019-05-17
  • 訪  問  量:4437

詳細介紹

價格區間1-5萬產地類別國產

 

產品名稱

VTC-200P真空旋轉涂膜機

產品型號

VTC-200P

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設備配有進出水口

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:不需要

4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通風裝置:需要

主要特點

1設有12組程序,每組包含6個運行階段,每段增減速率設置范圍:100—2000rpm/s,每段時間范圍:0—60s。

2、真空吸附方式固定樣件,操作簡便。

3、吸盤真空度可以達到-0.08MPa。

4、使用定位工具可將樣件很容易放在中心位置,以減少偏心造成震動飛片。

5、根據樣件規格可以配用不同的吸盤,更換方便簡單。

6、電機采用24V直流無刷電機,無級調速,可靠性高,適應性強,維修與保養簡單,噪音低,震動小,運轉平穩,啟動快速穩定,加速后運行平穩,可以保證涂厚度的*性和均勻性。

7、本機可置于手套箱內使用,但控制部分與真空泵需置于箱外。

8、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進行涂層。

9、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結構簡單、操作容易、維護方便、不會污染環境等優點。

10、腔體通體采用聚丙烯材質,使用壽命更長,提高耐化學腐蝕性和優異的抗應力開裂性能。

11、全英文操作系統。

12、具有開蓋保護功能,當涂膜過程中或涂膜結束時打開上蓋后機器立刻迅速減速直到停止

13、控制器采用單控制箱,液晶顯示數值,更直觀可靠。

 

技術參數

1、電源:220V   50HZ

2電機功率:350W/24V

3、轉速:500rpm-6000rpm之間可調

4.可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段,

5、每段增減速率設置范圍:100 rpm s—2000 rpm /s,每段時間范圍:0-60s

6、吸盤規格φ100mm

7、本機可選配加熱功能:加溫范圍RT-100%

               加熱蓋,水槽及吸盤采用聚丙烯材質

               溫度單獨控制,與主機程序控制無關聯

產品規格

尺寸:φ250mm×360mm;重量:20kg

標準配件

1

φ100mm真空吸盤

 

1

2

O型膠圈

1

3

滴液器

 

1個

4

滴液器支架

1個

5

中心定位器

 

1個

6

無油真空泵 

 

1臺

可選配件

進口移液器

 

國產移液槍

 

其它尺寸的真空吸盤

 

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